1、設(shè)備優(yōu)勢(shì)
自動(dòng)搬運(yùn),自動(dòng)封堵,實(shí)現(xiàn)腔內(nèi)充氦
2、設(shè)備參數(shù)
真空腔 | ≥2000mm |
測(cè)試壓力 | 4Mpa |
泄漏標(biāo)準(zhǔn) | 1E-5 pam3/s (≥80%He) |
檢測(cè)精度 | 1E-7pam3/s |
測(cè)試節(jié)拍 | 80s |
本底背景量級(jí) | 0.01g/y |
氦氣回收率 | ≥98% |
檢漏方式 | 全自動(dòng)檢漏 |
電話:022-58501645轉(zhuǎn)8007
郵件:licheng_yao@lonnie-tech.com