氦檢設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用愈來愈廣泛，例如真空鍍膜設(shè)備(蒸發(fā)，濺射)，干法雷設(shè)備，熱處理設(shè)備(合金爐，退火爐)，摻雜設(shè)備(離子注入機(jī)等)這些真空設(shè)備作為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展不可或缺的條件必將起到越來越重要的作用。

　　氦檢設(shè)備在氦檢設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用愈來愈廣泛，例如真空鍍膜設(shè)備(蒸發(fā)，濺射)，干法雷設(shè)備(ICP,RIE,PECVD),熱處理設(shè)備(合金爐，退火爐)，摻雜設(shè)備(離子注入機(jī)等)這些真空設(shè)備作為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展不可或缺的條件必將起到越來越重要的作用。氦檢設(shè)備現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。

　　氦檢設(shè)備半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：

　　1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力;

　　2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中要進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;

　　3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。

　　4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。

　　綜上所述， 氦檢設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。